半導體創新產品和技術再次喜獲豐收
文章來源:總經辦 發布時間:2017/3/28
日前,在2017中國半導體市場年會暨第六屆集成電路產業創新大會上,我公司產品“高純鋁蝕刻液” 被評為“第十一屆(2016年度)中國半導體創新產品和技術項目”之殊榮。截止目前,我公司產品共有4個已獲得該類別榮譽。
“高純鋁蝕刻液”屬于半導體行業專用材料,可應用于半導體元件中電子部件的配線形成,起蝕刻作用,可有效解決蝕刻液在蝕刻鋁材料過程中對蝕刻速率、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的配線短路、短路等問題。
目前該產品技術已獲授權發明專利1件、實用新型專利1件。公司作為第一起草單位,以該項目產品為基礎起草制定了行業標準兩項《集成電路用鋁腐蝕液》和《液晶顯示器用鋁腐蝕液》。該產品技術水平已達到國內領先、國際先進水平,填補了該領域國內空白,打破了國外技術的壟斷,對我國在微電子行業電子化學品的加工生產技術起到了示范作用。產品可替代進口,降低生產成本,具有顯著的經濟效益和社會效益。該產品自面市以來一直倍受江陰長電先進封裝有限公司、杭州士蘭集成電路有限公司等客戶的一致青睞。